Tank 溫度監控
即時的監測設備狀態與記錄，達到設備狀態即時監測、故障提前預警，即時、量化且透明化的智慧管理模式，提前應對設備異常狀態、改善廠房運行、易於管理與掌握設備狀況。
半自動化維護-MMS
項目 | 說明 |
抓取負重 | 20kg |
台車功能 | Server維護/Tank補液 |
暫存 | 8 Ports |
功能感測 | 溫度/壓力/液位 |
耐震程度 | 符合SEMI規範 |
上罩認證 | 符合SEMI S2規範 |
Dock
項目 | 說明 |
功能 | Server IP設定基板 |
暫存 | 8 Ports |
功能感測 | 光纖感測 |
耐震程度 | 符合SEMI規範 |
尺寸 | 長：1700mm 橫：1260mm 寬：960mm |
